日本三豐378系列半導體檢測用顯微鏡FS70Z

日本三豐378系列半導體檢測用顯微鏡FS70Z

日本三豐378系列半導體檢測用顯微鏡FS70Z

• 帶目鏡觀(guān)察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導體、液晶基板、樹(shù)脂等。
• 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專(zhuān)業(yè)器械 的 OEM(原廠(chǎng)委制) 產(chǎn) 品， 如 那 些 利 用YAG(近紅外、可見(jiàn)、近紫外或紫外) 激光 *對半導體晶片進(jìn)行檢測和修補的設備。* 不保證激光系統產(chǎn)品的性能和安全性。
• 應用 ：切割、修整、校正、給半導體電路做標記 / 薄膜 (絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復 (校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀(guān)察剖面圖以便探針?lè )治霭雽w故障。
• 可用于紅外光學(xué)系統 *。應用 ：晶體硅的內部觀(guān)察 ；紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機。
• 支持 BF (亮視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微分干涉對比 (DIC) 的型號 (產(chǎn)品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統上的標準配件。
• 內傾轉塔和超長(cháng)工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。

1. 型號         FS70          FS70-TH      FS70Z      FS70Z-TH       FS70L     FS70L-TH       FS70L4       FS70L4-TH
2. 貨號         378-184-1    378-184-3   378-185-1   378-185-3    378-186-1    378-186-3     378-187-1     378-187-3
3. 短基座型號   FS70-S        FS70-THS     FS70Z-S     FS70Z-THS    FS70L-S      FS70L-THS    FS70L4-S     FS70L4-THS
4. 貨號         378-184-2     378-184-4   378-185-2   378-185-4   378-186-2     378-186-4     378-187-2     378-187-4
5. 對焦          50mm 行程，同心焦距粗調 (3.8mm/轉)和微調 (0.1mm/轉) 對焦輪(左、右)
6. 圖像              正像
7. 瞳距             西登托夫型, 調節范圍: 51 - 76mm
8. 視場(chǎng)數                24mm
9. 俯角             —                0º- 20º —               0º - 20º               — 0- 20º            — 0º - 20º
10. 透過(guò)率       固定(目鏡 /TV=50/50)  可調型 (目 鏡/管徑= 100/0:0/100)     固定(目鏡/ TV=50/50)     可調型 (目鏡/管徑= 100/0:0/100)
11. 防護濾光片                     —                                                 內置激光濾光片
12. 光學(xué)管徑         1X                   1X - 2X變焦                               1X
13. 適用激光            —                 1064/532/355nm              532/266nm
14. 相機端口      C-mount (使用適配器B選件*1)      使用帶有電視端口的激 光器          C-mount 端口 (帶有綠色濾光片轉換 開(kāi)關(guān))
15. 照明系統,       選件 亮視場(chǎng)反射照明(科勒照明、帶孔徑光闌) 12V 100W 光纖傳導、無(wú)極亮度調節、光纖長(cháng)度：1.5m
16. 物鏡, 選件 (用于觀(guān)察)                M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
17. 物鏡, 選件 (用于激光切割)             — M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV M Plan UV
18. 載重*                2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
    重量 (主機)            6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg